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关于电子级超纯水的作用及制作设备工艺的说明

浏览次数:407次发表时间:2022/1/20

  电子级超纯水作为电子、半导体、液晶显示、光伏工业生产在制作过程中所需用水,对于应用此设备要求较高。如果产出的超纯水水质达不到生产工艺用水的要求或者水质不稳定的话,会影响后续工艺的处理效果与使用寿命。
 
  在电子元器件生产中,超纯水主要用作清洗用水及用来配制各种溶液、浆料,不同的电子元器件生产中纯水的用途及对水质的要求也不同。在晶体管、集成电路生产中,电子级超纯水主要用于清洗硅片,另有少量用于药液配制,硅片氧化的水汽源,部分设备的冷却水,配制电镀液等。集成电路生产过程中的80%的工序需要使用高纯水清洗硅片,水质的好坏与集成电路的产品质量及生产成品率关系很大。
 
  我公司根据电子行业的特殊要求,设计并生产电子超纯水设备,具有自动化程度高、运行稳定、品质有保障等特点,符合行业要求,其工艺流程如下:
 
  原水—预处理过滤器—保安(精密)过滤器—RO反渗透—电去离子—氮封水箱—抛光混床—新型循环管道;
 
  设备优势:
 
  1、采用PLC智能化程序,用户能灵活方便地进行操作,节省人力投入。
 
  2、膜表面的特殊高分子材料使膜系统带电荷运行,从而离子迁移速度加快,达到了更好的脱盐效果。
 
  3、管道焊接采用GMP式单焊双成型法,保证系统运行无污染物析出,确保系统内无死水,有终端超滤协作资历。
 
  电子级超纯水设备应用领域:
 
  1、光电子产品;
 
  2、汽车、家电表面抛光处理;
 
  3、实验室和中试车间用超纯水;
 
  4、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水;
 
  5、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水。
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